TPY-2型自动椭圆偏振测厚仪 仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率，具有精度高、灵敏度高以及自动控制等特点。光源采用氦氖激光器，功率稳定波长精度高。仪器采用PCI接口与电脑连接，配套软件功能齐全，具有多样数据采集及处理方式，适用于不同用户的需要。